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微纳-22-台阶仪
2013-12-17| 编辑: | 【

台阶仪

仪器型号:KLA Tencor ALPHA STEP IQ

购置年月:20127

仪器简介:

Alpha-Step IQ是先进的探针接触式表面轮廓仪(又叫:台阶仪或膜厚仪),集高测量精度、多功能性和经济性于一体,是试行生产线及材料分析的理想选择。在其8 Å)或0.1%的台阶高度重复性以及亚埃级别的分辨率的保证下,Alpha-Step IQ能够为工艺过程的分析和监控提供最佳的重复性和性能。计算机化的系统更提供了联网和USB通讯的强大功能。Alpha-Step IQ能帮助您更及时地了解工艺状况以及提高产量。

应用范围:

该仪器提供了一整套完备的二维表面形貌分析方法,适用于各种表面,包括:半导体硅片、MEMS、微电子陶瓷、SIMS、光学表面和平面显示。Alpha-Step IQ另外还提供了丰富的选件,如:更高的垂直测量范围、用于样品定位的更大倍率的摄象头机、集成的数据处理软件和支持多语言显示等等。

技术参数:

1. 可精确测量纳米级至几百微米级台阶高度;

2. 可分析表面粗糙度;

3. 具有7.5Å (1σ)0.1%台阶高度重复性以及亚埃级的分辨率。

 

 
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